|
Laser-Optik-Systeme für Kristallisation, Annealing und AktivierungINNOVAVENT Laser-Optik-Systeme für Kristallisation, Annealing und Aktivierung von Halbleitern werden modular zusammengestellt und in enger Zusammenarbeit mit Systemintegratoren für Prozesse und Endkunden entwickelt und hergestellt. Die Produktpalette reicht vom einfachen Optiksystem zur Erzeugung eines Linienfokus mit einer Laserquelle bis zu komplexen Subsystemen, bestehend aus Laser, Homogenisiereroptik, Abbildungsobjektiv und Strahldiagnostik. |
||||||||||||||||||||||||||
VOLCANO® Laser Optik verwendet zylindrische Optik für die Fokussierung und Abbildung von Gauß-Strahlen. Insbesondere werden damit lange Linien bis 200 mm Länge erzeugt, die in der Scanachse eine Halbwerts-breite von 5-10 µm haben können und in der bis 200 mm langen Dimension eine Unschärfe von 0,1 bis 1 mm aufweisen. Für die zylindrische Abbildung werden INNOVAVENT FALCON® Objektive eingesetzt. In der VOLCANO Laser Optik wird der 515 nm JenLas® ASAMA 80-8 eingesetzt. Diese Laserquelle erlaubt die Pulslänge zwischen 300 ns und 1.200 ns einzustellen und ist angepasst an die Erzeugung einer Laserlinie. Die neue VOLCANO® LINE BEAM Laser Optik erzeugt eine gaußförmige Linie mit einer Breite von >20 µm FWHM und einer Länge bis zu 750mm und mehr. Laserlicht der Wellenlänge 532 nm wird über Lichtleitfasern mit hohen Leistungen in das Optikmodul geführt. Diese Methode erlaubt mehrere Festkörperlaserquellen (Starlase 200G und 400G, Powerlaser Ltd., UK) zu kombinieren und eine Energiedichte von >500 mJ/cm² in einer 750 mm langen Laserlinie zu erzeugen. Mit dieser Liniengeometrie können p-Si-Schichten erzeugt werden, die in der Fertigung von OLED- und LCD TFT Back Plates benötigt werden. Technologie (Scheibenlaser). Der frequenzverdoppelte 532 nm Nd: Vanadat Scheibenlaser emittiert bis zu 8 W multimode Laserleistung. Durch Multiplexen und Transport in optischen Fasern können bis zu 160 W Laserleistung der Homogenisiereroptik zugeführt werden und zu einer Laserlinie optisch verarbeitet werden. Die Anordnung zeichnet sich durch hohe Leistungsstabilität und Homogenität in der erzeugten Laserlinie aus. LAVA 64CW: 64 W, 100 kW/cm², 1,2 mm x 30-35 µm, Homogenität 1 σ <1,5 %
|
![]() LAVA® 100 Strahlengang.
VOLCANO® LB Aufbau bestehend aus Laser, Faserkopplung und Linienstrahloptik-Modul.
50nm p-Si Film SEM nach 60ns
GLA @ 380mJ/cm² Belichtung
|
||||||||||||||||||||||||||
| INNOVAVENT GmbH • Bertha-von-Suttner-Str. 5 • 37085 Göttingen Germany • Tel. +49 (0) 5 51 - 9 00 47-0 Fax +49 (0) 5 51 - 9 00 47-19 info@innovavent.com | |||||||||||||||||||||||||||
| © INNOVAVENT GmbH 2003 - 2012 | |||||||||||||||||||||||||||



