VOLCANO® 100UV Laser Optik - | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

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VOLCANO® 100UV Laser Optik

Systeme > Laser-Lift-Off

 
Laser-Optik-System für eine Laserlinie bis 100mm Länge mit gepulsten UV-Festkörperlasern

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VOLCANO 100UV Laser Optik mit 1x TruMicro 7370 UV Festkörperlaser
Das VOLCANO® 100UV  ist auf einer soliden Granitstruktur aufgebaut. Die Laserstrahl wird zu einer Linie von 100mm Länge homogenisiert mit einer Breite von 20-30µm FWHM. Das FALCON 100UV Objektiv erzeugt eine gleichmäßige Linienbreite über die gesamte Länge und die größtmögliche Tiefenschärfe, die für die Massenproduktion unverzichtbar ist.
Für die 100mm Länge reicht ein TruMicro 7370 UV Festkörperlaser (180W, 18mJ, 10 kHz, 15ns) um mehr als 400mJ/cm² in einer 30µm FWHM Linienbreite zu erzeugen, analog für 150mJ/cm² kann die Linienbreite auf bis zu 80µm erhöht werden. Bei einem Pitch von 50% der Halbwertsbreite ergeben sich Scangeschwindigkeiten von bis zu 400mm/s. Als Alternative können 355nm UV-Festkörperlaser mit größeren Pulslängen (50-70ns) verwendet werden, jedoch ergeben sich deutlich höhere notwendige Prozess-Energiedichten.

Anwendungsgebiete

Laser-Lift-Off-Verfahren werden in der Elektronikindustrie für die Herstellung flexibler und leichter OLED Displays für Fernsehbildschirme, Smartphones, Smartwatches und Tablet-Computer eingesetzt. Das OLED Display  wird auf einer Polymerfolie, die auf ein Glassubstrat aufgeklebt ist, hergestellt. Das fertige Display auf der Polymerfolie wird mit dem UV-Laserstrahl vom Glassubstrat gelöst.

Technische Daten: VOLCANO® 100UV-1
Wellenlänge:
343 nm
Linienlänge:
100mm (top-hat-Profil)
Linienbreite:
20-30µm FWHM (Gaussprofil)
Homogenität:
p2p ≤6% best focus
Energiedichte:
630mJ/cm² @ 20µm FWHM; ≥420mJ/cm² @ 30µm FWHM
Pulslänge:
15-20ns FWHM
Repetitionsrate:
10kHz

Laser:
TruMicro 7370, Trumpf Lasertechnik, Germany

Diagnostik:
Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode
Andere Liniengrößen und Konfigurationen auf Anfrage.
Kunden Support Center Deutschland für:
EO Technics Co., Ltd. 91 Dongyeonro Anyang,
Korea 431-803
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Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
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