VOLCANO® LB 750UV Laser Optik
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Laser-Optik-System für eine Laserlinie von 300 - 1000mm Länge mit gepulsten
UV-Festkörperlasern
VOLCANO® Line Beam Systeme können mit verschiedenen Linienlängen bis zu 750mm und 1000mm gebaut werden. Die Verwendung von Festkörperlasern bei 343nm reduziert die Betriebskosten und verbessert den Nutzungsgrad im Vergleich zu Excimerlasern.
LB Optiksysteme bestehen aus einer stabilen Aluminiumstruktur und die FALCON XXL Linsen zeichnet sich durch einen großen Arbeitsabstand von >200mm aus. Zur Integration ist eine solide Basis notwendig. Line Beam Systeme werden mit einem MBC (Manual Beam Control) Kamera System ausgestattet, mit denen die Position und der Winkel der Laserstrahlen (Freistrahlführung) überwacht werden können und nachgestellt werden können. Das FALCON 750XXL Design enthält ein Fenster, das die Prozesskammer sicher von der Line Beam Optik trennt und Verschmutzungen der Optik verhindert.
Die Energiedichte von >500mJ/cm² wird mit 6 TruMicro 8320 in einer 750mm langen Linie mit 20µm FWHM Breite erreicht (Laserpulsenergie 20mJ). Die Line Beam Optik liefert für 20µm FWHM eine Schärfentiefe von ≥ 300μm für eine Homogenität p2p ≤10%.
Bei einer Linienlänge von 1000mm werden mit 3x TruMicro 8340 mehr als 250mJ/cm² in einer Breite von 30µm FWHM erreicht, ausreichend für LLO Applikationen ohne Opferschicht.
Technische Daten: VOLCANO® LB 750UV-4-8320 | ||
Wellenlänge: | 343 nm | |
Linienlänge: | 750mm (top-hat-Profil) | |
Linienbreite: | 20-30µm FWHM (Gaussprofil) | |
Homogenität: | p2p ≤6% best focus | |
Energiedichte: | >=370mJ/cm² @ 20µm FWHM; >=250mJ/cm² @ 30µm FWHM | |
Pulslänge: | ~15-20ns, kann durch verzögertes Triggern der 4 Laserquellen vergrößert werden | |
Repetitionsrate: | 10kHz | |
Laser: | 4x TruMicro 8320 oder 2x TruMicro 8340, Trumpf Lasertechnik, Germany | |
Diagnostik: | Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode |
Technische Daten: VOLCANO® LB 750UV-6-8320 | ||
Wellenlänge: | 343 nm | |
Linienlänge: | 750mm (top-hat-Profil) | |
Linienbreite: | 20-30µm FWHM (Gaussprofil) | |
Homogenität: | p2p ≤ 6% best focus | |
Energiedichte: | >=560mJ/cm² @ 20µm FWHM; >=370mJ/cm² @ 30µm FWHM | |
Pulslänge: | ~15-20ns, kann durch verzögertes Triggern der 4 Laserquellen vergrößert werden | |
Repetitionsrate: | 10kHz | |
Laser: | 6x TruMicro 8320 oder 3x TruMicro 8340, Trumpf Lasertechnik, Germany | |
Diagnostik: | Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode | |
Andere Liniengrößen und Konfigurationen auf Anfrage. |
VOLCANO® Laser Optik besteht aus einem integrierten Abschwächer Modul zur Einstellung der Energiedichte. Darüber hinaus können Leistungsmessköpfe und eine Strahlprofilmessung integriert werden.